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钛靶块

发布时间:2020-10-22  作者:卓辉金属

钛靶材 1 婷婷,从用材上分:板靶,管靶,圆靶.

2.从用途上分:工具镀,装饰镀

3,真空镀膜分为:溅射镀,离子镀膜,蒸发镀膜 精品久久久久久国产.

装饰镀:是为了改善工件外观装饰性能和色泽,同时使工件更耐磨耐腐蚀 日本强好片久久久久久AAA,延长其寿命, 这方面主要用于五金行业各个领域(如门窗五金,锁具,卫浴五金等行业)。

工具镀:主要目的是为了提高工件表面硬度和耐磨性,降低表面的摩擦系数 wwwwxxxxx日本,提高工件的使用寿命。

钛阳极 国产精品兄妹在线观看麻豆,主要用于化工,电镀行业,污水处理。

品 名纯度密度镀膜优势色形状常规尺寸应用行业
钛铝(TiAl)合金靶2N8-4N3.6-4.2玫瑰金/咖啡色圆柱形直 径
60/65/95/100*30/32/40/45mm


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纯铬(Cr)靶2N7-4N7.19白色/黑色圆柱形
纯钛(Ti)靶)2N8-4N4.51金黄色/枪黑色
蓝色/玫瑰红
圆柱形
纯锆(Zr)靶2N5-4N6.5金色圆柱形
纯铝(Al))靶4N-5N2.7银色圆柱形
纯镍(Ni)靶3N-4N8.9金属本色圆柱形
镍钒(Ni)靶3N8.57蓝绿色圆柱形
纯铌(Nb)靶3N8.57白色圆柱形
纯钽(Ta)靶3N516.4黑色/紫色圆柱形
纯钼(Mo)靶3N510.2黑色圆柱形

2、靶材的主要性能要求 纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。 不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0,5um减小到0 三更之回家在线观看,25um,0,18um甚至0,13um,以前99,995%的靶材纯度可以满足0,35umIC的工艺要求,而制备0,18um线条对靶材纯度则要求99,999%甚至99,9999%。 杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。 密度 为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。 晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶 粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均 钛饼。

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